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KE 802 E축 Speed 조절 Unit
▶ 대상 : KE 802 설비
▶ 내용 : 기존에 고정되어있는 E축의 속도를 Recipe 별로 다른 속도를 설정 할 수 있음.
전호영
Temp Controller
▶ TLC-Temp Controller
▶ 15~30 ± 0.2 ℃
▶ Alarm
- Deviation…
전호영
Blower Unit
▶ 긴급 배기용 Blower
▶ 용량 : 2HP
▶ Inlet/Outlet Pressure Gauge
…
전호영
Slit Valve Tester
▶ Valve Open / Close. (Auto 진행)
▶ Open / Close Time 측정 및 Graph Display.
▶ Temp Controller. (4CH)
전호영
지그 제작
⊙ Ulvac Chamber 조립 지그
⊙ AMAT Chamber Purge 지그
전호영
Manufacture (300mm KE Parts)
⊙ Manifolder ⊙ Seal Cap
⊙ GFC Panel ⊙ Cable
전호영
Manufacture (300mm KE Parts)
⊙ Manifolder ⊙ Seal Cap
⊙ Cap Base ⊙ GFC Panel
전호영
Foup Opener
▶ Foup Open / Close
▶ Automatic X-Axis(Lock/Unlock), Manual R-Axis
▶ Handle -> Wafer Up/Down
전호영
Manual Wafer Transfer
▶ Foup -> Carrier, Carrier -> Foup
▶ 25PC Fork
▶ Handle -> Wafer Up/Down
전호영
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주 소 : 경기도 평택시 진위면 진위산단로 53-52
